流量測(ce)量技術之 微小流量(liang) 的測量(liang)     
半導體(tǐ)制造業、生物(wù)工程、精細化(hua)工等的興起(qi)，使流量測量(liang)向🏃‍♂️低端延伸(shen)，小流量計流(liú)量的要求在(zai)上世🈲紀 80 ∽ 90 年代凸(tu)顯起來。何謂(wei)小流量 ? 業界尚無*的(de)定義和界限(xiàn)，小流量因應(ying)用領域而異(yi)是一個模🙇🏻糊(hú)的概念。管道(dao)小流量測量(liàng)體現于管徑(jing)小和流速低(dī)兩個層次，就(jiù)流程工業而(er)言，習慣上 DN10 甚至 DN15 以下管徑流(liu)量測量稱之(zhī)小流量測量(liang)，通常其流量(liàng)值液體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以(yǐ)下，流量儀表(biao)滿度流量時(shi)的流速低于(yú) 0.1m/s 。
1 、測(ce)量方法
傳統小流量(liang)測量技術節(jie)流差壓 ( 層流 ) 法(fǎ)、浮子法和容(rong)積法等有了(le)的改進，新測(ce)量技術如📞超(chāo)聲法、熱法、科(ke)裏奧利法等(děng)也有成效地(dì)應于液體和(he)氣體小♉流量(liang)測量🤩。
2 、特(te)點
微小(xiao)流量與一般(bān)流量測量相(xiang)比較，具有以(yi)下特點。
1) 雷諾數低
一般管道(dào)流動均爲紊(wen)流流動，流量(liàng)儀表也是針(zhen)對紊流🧑🏾‍🤝‍🧑🏼流動(dong)🌈态設計的，而(ér)小流量儀表(biǎo)因管徑小常(cháng)處于層流流(liu)動 ( 例如(ru)管内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或(huo)層流 / 紊(wěn)流過渡區流(liú)态流動，小流(liu)量測量受使(shi)用中流體黏(nián)度變🚩化☂️影響(xiang)頗大。
2) 要(yao)用實際使用(yòng)流體校準
液體流量(liang)儀表一般用(yong)水校準，氣體(tǐ)用空氣校準(zhǔn)。若🧡知道㊙️實際(ji)測🥰量流體與(yǔ)校準流體間(jiān)某些物性不(bú)同對示值有(yǒu)規律變化時(shí)，中👈大管徑流(liú)量儀表常以(yi)适當系數修(xiu)正。但有些小(xiǎo)🤟流量儀✌️表受(shòu)黏度等流體(ti)物性影響大(dà)♉，須以實際使(shi)用流體校準(zhǔn)。所幸流量小(xiao)，用🏃‍♀️實際使用(yòng)流體校準難(nan)度不大，但在(zai)作有害性流(liu)體校準時應(ying)注意🔞安全和(he)環境污🈲染。
3) 要求測量(liang)時防止污染(ran)流體
若(ruo)測量潔淨氣(qì)體和純水常(chang)不允許接觸(chù)流體的儀表(biao)零件材😄料析(xi)出離子，例如(ru)半導體制備(bèi)中儀表不🌏能(néng)用金屬和玻(bo)⭕璃制成，隻能(néng)用塑料。流體(tǐ)中也不允許(xu)混入活動件(jian)的磨蝕塵粒(li)。流量儀表流(liú)通通道要盡(jìn)可能簡🌐單，不(bu)應有潴留 ( 指液體在(zai)體内不正常(chang)地聚集停留(liu) ) 部位，防(fáng)止潴留介質(zhi)變質。
4) 氣(qi)泡和塵埃附(fù)着的影響
因管徑小(xiao)黏性增加，液(ye)體中微細氣(qi)泡易在管系(xi)流動過程中(zhong)💜積聚變大，使(shǐ)測量時指示(shì)不穩，度下降(jiang)。流體中塵埃(āi)附着測量元(yuan)件也要影響(xiang)測量值，例如(rú)浮子流量計(jì)的浮子上沉(chen)積有肉眼覺(jiao)察不出的附(fu)着層也會影(ying)響示值。
5) 流量儀表品(pin)種使用上受(shòu)到一定限制(zhì)
在衆多(duō)測量原理流(liú)量儀表中，因(yīn)各種原因小(xiǎo)流量應用✊受(shòu)到一些限制(zhi)，當前能應用(yòng)于小流量的(de)品種如表格(ge)所示