産(chǎn)品展示
PRODUCT DISPLAY
産品時間(jiān)：2025-12-01
mf4001廣(guǎng)東微小口徑(jìng)氣體質量流(liú)量計是專門(mén)爲各類小流(liu)量💃氣體的測(cè)量和過程控(kòng)制而設計的(de)。這一系列傳(chuán)感❤️器均采用(yong)本公司自主(zhǔ)研發的微機(jī)電系統（MEMS）流量(liàng)傳感芯片來(lái)制作，适用于(yú)各類清潔氣(qi)體。*的封裝技(ji)術使之可用(yong)于各❓類管徑(jìng)，成🔴本低、易安(an)裝、不需要溫(wen)度壓力補償(chang)，可替代容積(jī)式或壓差式(shi)的傳統流🈲量(liàng)傳感器。
mf4001廣東微小口(kou)徑氣體質量(liang)流量計
産品特點：
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傳感器靈(líng)敏度高
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傳感器芯片(piàn)采用熱質量(liàng)流量計量
,
無需溫度(du)壓力補償
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在單個(gè)芯片上實現(xian)了多傳感器(qì)集成
使(shi)傳感器的量(liang)程比大大提(tí)高
傳感(gan)器的零點穩(wěn)定度高
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全(quan)量程高精确(que)度和優良的(de)重複性
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響應時間快(kuai)
mf4001廣東微小口(kou)徑氣體質量(liàng)流量計
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性能參(can)數 |
FS4001 |
單位 |
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通 徑(jìng) |
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500, 1000 |
SLPM |
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量程(chéng)比 |
>100：1 |
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精 度 |
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重複(fu)性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點(diǎn)輸出飄移 |
±30 |
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輸(shū)出飄移 |
%/oC |
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響應(yīng)時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電(dian)源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shì) |
線性，RS232/模拟電(diàn)壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓(ya)損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作壓(ya)力 |
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MPa |
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工作溫度(dù) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
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工(gōng)作濕度 |
<95%RH（無結(jie)冰、無凝露） |
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可拆(chāi)式軟管接頭(tóu) |
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校準方式 |
空(kong)氣（或其他氣(qì)體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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