FS4001系列測量(liàng)氣體流量(liàng)傳感器
簡(jiǎn)要描述：
FS4001系(xì)列測量氣(qi)體流量傳(chuán)感器是專(zhuān)門爲各類(lèi)小流量氣(qi)體的🧑🏽🤝🧑🏻測量(liang)和過程控(kòng)制而設計(ji)的。這一系(xi)列傳感器(qi)均采用本(běn)公司自主(zhu)研發的微(wei)機電系統(tong)（MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制(zhi)作💃，适用于(yu)各類清潔(jié)氣體🔱。
簡介(jie)：
FS4001系列測量(liang)氣體流量(liàng)傳感器 是專門(men)爲各類小(xiao)流量氣體(tǐ)的測量和(he)過程控制(zhì)而設計⛱️的(de)。這一♌系列(lie)傳感器均(jun)采用本公(gōng)司自主研(yan)發的微機(ji)電系統（ MEMS ）流量傳(chuán)感芯片來(lai)制作。
FS4001系列(lie)測量氣體(ti)流量傳感(gan)器 适(shi)用于各類(lèi)清潔氣體(ti)。*的封裝技(ji)術使之可(kě)用于各類(lei)管徑，成本(běn)低、易安裝(zhuāng)、不需要溫(wen)度壓力補(bǔ)償，可替代(dài)容積式🥵或(huo)壓差式♉的(de)傳統流量(liang)傳感器。
産(chan)品特點：
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傳感器(qi)靈敏度高(gāo)
有極(ji)小的始動(dong)流量
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,
,
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在單(dān)個芯片上(shàng)實現了多(duō)傳感器集(jí)成
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全量(liang)程高精确(què)度和優良(liang)的重複性(xing)
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低功(gōng)耗
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低(di)壓損
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響應時間(jiān)快
主(zhu)要參數：
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性(xìng)能參數 |
FS4001 |
單(dan)位 |
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通 徑 |
1.0 |
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30, 100, 200 |
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SLPM |
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量程(chéng)比 |
>100：1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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零點輸出(chu)飄移 |
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mV |
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±0.12 |
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響應(yīng)時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作(zuò)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chū)方式 |
線性(xing)，RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc |
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大流量壓(yā)損 |
350 |
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pa |
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大工作(zuò)壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作(zuo)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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-20 ~ +65 |
oC |
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工作(zuo)濕度 |
<95%RH（無結(jie)冰、無凝露(lù)） |
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機械接口(kou) |
可拆式軟(ruǎn)管接頭 |
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校(xiào)準方式 |
空(kong)氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa |
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重量(liàng) |
15 |
g |
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