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氣體流量監測(ce)傳感器

産品時(shi)間:2025-12-01

簡要描述:

産品簡介:

FS4001系列(lie) 氣體流量監測(ce)傳感器 是(shi)專門爲各類小(xiao)流量氣體的測(cè)量和過程控制(zhi)而設計的。這一(yi)系列傳感器均(jun)采用本公司自(zì)主研發的微機(jī)電系統( MEMS )流(liu)量傳感芯片來(lái)制作。

FS4001系列 氣體(tǐ)流量監測傳感(gǎn)器 适用于(yu)各類清潔氣體(ti)。*的封裝技術使(shi)之可用于各🐆類(lèi)管徑,成本低、易(yì)安裝、不需要溫(wēn)度壓力補償,可(ke)替代容💁積式或(huò)壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。


産品特(te)點:
  - 傳感器(qì)靈敏度高 , 有極小的始動(dong)流量
  - 傳感(gǎn)器芯片采用熱(re)質量流量計量(liang) , 無需溫度(dù)壓力補償 , 保證了傳
  - 感器的高精度(dù)計量
  - 在單(dān)個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集(jí)成 , 使傳感(gǎn)器的量程比大(da)大提高
  - 傳(chuan)感器的零點穩(wen)定度高
  - 全(quán)量程高穩定性(xing)
  - 全量程高(gao)精确度和優良(liang)的重複性
  - 低功耗
  - 低(di)壓損
  - 響應(ying)時間快

機(ji)械尺寸:


主要參數:

性(xìng)能參數

FS4001

單位

通(tong) 徑

1.0

1.8

mm

大流量

500, 1000

SLPM

量程(cheng)比

>100:1

精 度

%

重複性(xing)

0.25

%讀數

零點輸出(chū)飄移

±30

輸出飄移(yi)

±0.12

響應時間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作(zuo)電源

 

輸出方式(shì)

線性,RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc

 

大流量壓損

350

300

pa

大(dà)工作壓力

MPa

工作(zuo)溫度

-10 ~ +55

oC

-20 ~ +65

oC

工作濕度

<95%RH(無結(jie)冰、無凝露)

 

機械(xie)接口

可拆式軟(ruan)管接頭

 

校準方(fang)式

空氣(或其他(ta)氣體),20oC,101.325kPa

 

重量

15

g

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