FS4001系(xì)列小流(liu)量氣體(ti)質量流(liu)量傳感(gan)器

産品(pǐn)時間：2025-12-01

簡(jiǎn)要描述(shù)：

FS4001系列小(xiǎo)流量氣(qì)體質量(liang)流量傳(chuán)感器是(shi)專門爲(wèi)各類小(xiao)💚流量🥵氣(qi)體的測(cè)量和過(guò)程控制(zhi)而設計(ji)的。這一(yī)系列傳(chuan)感器均(jun1)采用本(ben)🔞公司自(zi)主研發(fā)的微機(ji)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳(chuan)感芯片(pian)來制作(zuò)，适用于(yú)各類清(qīng)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuang)技術使(shǐ)之可用(yòng)于各類(lei)管徑，成(chéng)本低、易(yi)安裝、不(bu)需要溫(wen)度壓力(lì)補償，可(kě)替代容(róng)積式或(huo)壓差式(shì)的傳統(tǒng)流量傳(chuán)感器。

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詳細(xi)介紹

産(chan)品簡介(jiè)：

FS4001系列小(xiao)流量氣(qì)體質量(liang)流量傳(chuan)感器 是(shì)專門爲(wèi)各類小(xiao)流量氣(qì)體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhì)而🈚設計(jì)的。這🔱一(yi)系列傳(chuán)感器均(jun)采用本(ben)公司自(zì)主研發(fa)的微機(ji)電💃系統(tong)（MEMS）流量傳(chuan)感芯片(piàn)來制作(zuo)，适用于(yú)各類清(qīng)潔氣💋體(tǐ)。*的封裝(zhuang)技術使(shǐ)之可用(yòng)于各類(lèi)管徑，成(cheng)本低、易(yì)安裝📧、不(bu)需要溫(wen)度壓力(lì)補償，可(kě)替代容(rong)積式或(huo)壓差式(shi)的傳統(tong)流量傳(chuán)感器。

産(chǎn)品特點(dian) ：

FS4001系(xi)列小流(liú)量氣體(ti)質量流(liu)量傳感(gan)器 靈敏(mǐn)度高,有(you)小的始(shǐ)動流量(liang)傳感器(qì)芯片采(cǎi)用熱質(zhi)量🈲流量(liang)計量,無(wú)需溫度(dù)壓力補(bu)償,保證(zheng)了傳感(gan)器的高(gao)精度計(jì)量在單(dan)個❤️芯片(piàn)上實現(xian)了多傳(chuán)感器集(ji)成📱,使傳(chuán)感器的(de)量程比(bǐ)大大提(tí)高傳感(gan)器的零(líng)點穩定(ding)☔度高全(quan)量程高(gāo)穩定性(xing)全量程(cheng)高精确(que)度和優(yōu)良的重(zhòng)複性低(di)功耗低(dī)壓損響(xiang)應時間(jian)快
主要(yào)參數：

性(xìng)能參數(shu)	FS4001		單位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
大流(liú)量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程(cheng)比	≥100:1
精度(dù)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零(ling)點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸(shu)出飄移(yí)	±0.12		%/oC
響應時(shi)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuò)電源	8~18Vdc,50mA
輸(shū)出方式(shì)	線性，RS232/模(mó)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
大流量(liang)壓損	350	300	pa
大(da)工作壓(yā)力	0.5		MPa
工作(zuo)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cun)儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝(níng)露）
機械(xiè)接口	可(kě)拆式軟(ruan)管接頭(tou)
校準方(fāng)式	空氣(qì)（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g