氣體檢測(cè)/測漏流量計(ji)
産品簡介:
FS4001系(xì)列小流量氣(qi)體質量流量(liàng)傳感器是專(zhuān)門爲各類⛹🏻♀️小(xiao)流量氣體的(de)測量和過程(cheng)控制而設計(jì)的。這一系列(lie)傳感器均采(cǎi)🔴用本公司自(zì)主研發的微(wei)機電系統(MEMS)流(liú)量傳感芯片(pian)來制作💞,适用(yong)于‼️各類清潔(jie)氣體。*的封裝(zhuāng)技術使之可(kě)用于各類管(guǎn)徑,成本低、易(yì)安裝、不需☔要(yao)溫度壓力補(bu)償,可替代容(róng)積式或壓差(cha)式的傳統流(liu)量傳感器。
氣(qì)體檢測/測漏(lòu)流量計産品(pǐn)特點:
- 傳感器(qì)靈敏度高,有(yǒu)極小的始動(dong)流量
- 傳感器(qì)芯片采用熱(rè)質量流量計(ji)量,無需溫度(dù)壓力補償,保(bao)證了傳
- 感器(qì)的高精度計(ji)量
- 在單個芯(xin)片上實現了(le)多傳感器集(jí)成,使傳感器(qi)的⚽量程比大(da)大提高
- 傳感(gǎn)器的零點穩(wěn)定度高
- 全量(liàng)程高穩定性(xing)
- 全量程高精(jīng)确度和優良(liáng)的重複性
- 低(dī)功耗
- 低壓損(sǔn)
- 響應時間快(kuai)
主要參數:
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性(xing)能參數 |
FS4001 |
單位(wei) |
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通 徑 |
1.0 |
mm |
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zui大流量(liang) |
30, 100, 200 |
SLPM |
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量程比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度(dù) |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀數(shù) |
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±30 |
mV |
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輸出飄移(yi) |
±0.12 |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工(gōng)作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chu)方式 |
線性,RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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zui大流(liu)量壓損 |
300 |
pa |
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zui大工(gong)作壓力 |
0.5 |
MPa |
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-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫(wēn)度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度(du) |
<95%RH(無結冰、無凝(níng)露) |
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機械接口(kǒu) |
可拆式軟管(guan)接頭 |
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校準方(fāng)式 |
空氣(或其(qí)他氣體),20oC,101.325kPa |
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重量(liang) |
g |
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