微小氣體流量(liang)計,MF4001氣體流量計(jì)
産品簡介(jie)：
FS4001系列小流(liu)量氣體質量流(liu)量傳感器是廣(guang)州迪川儀器儀(yi)🈲表有限公司專(zhuān)門爲各類小流(liú)量氣體的測量(liàng)和過程控制而(ér)設計的。這一系(xi)列傳感器均采(cǎi)用本公司自主(zhǔ)研發的微機電(diàn)系統（
MEMS）流量(liang)傳感芯片來制(zhì)作，适用于各類(lei)清潔氣體。*的封(feng)裝技術使之可(kě)用于各類管徑(jìng)，成本低、易安裝(zhuang)、不需要溫💞度壓(yā)力補償，可替代(dai)容積式或壓差(chà)式的傳統流量(liang)傳感器。
産(chan)品特點：
微小氣(qì)體流量計,MF4001氣體(ti)流量計
- ,
- 傳感器芯片采(cai)用熱質量流量(liang)計量
,無需(xū)溫度壓力補償(cháng)
,保證了傳(chuán)
- 感器的高(gāo)精度計量
- 在單個芯片上(shàng)實現了多傳感(gan)器集成
,使(shi)傳感器的量程(cheng)比大大提高
- 傳感器的零(ling)點穩定度高
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- 低功耗
-
- 響應時間快
主要參數：
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FS4001 |
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徑 |
1.0 |
1.8 |
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30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(chéng)比 |
2132132132131231312100:1 |
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度 |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
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±30 |
mV |
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輸出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jian) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuan) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shi) |
RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc |
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zui大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大工作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
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工作溫度(dù) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(dù) |
oC |
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工作濕度(du) |
<95%RH（無結冰、無(wu)凝露） |
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可拆(chāi)式軟管接頭 |
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校準方式 |
空氣（或其他(ta)氣體）， 20oC， 101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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